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不二越,DLC成膜用ハイブリッドイオンプレーティング装置「SPS-2020」を市場投入

不二越は,高品質かつ高速なダイヤモンドライクカーボン(DLC)成膜を実現するハイブリッドイオンプレーティング装置「SPS-2020」を開発,市場投入する。同製品は,真空中でイオンビームにより成膜物質をたたき出すスパッタリング法と,プラズマ中に成膜物質を含むガスを注入して成膜するP-CVD法を融合したハイブリッド成膜技術により,硬さや膜厚などの成膜品質が向上。また,大電流のHCD式プラズマガンを2基搭載し,高密度なイオンビームを照射して,イオン化率を上昇させることで,DLC成膜速度を従来機対比で約1.5倍まで向上させ,生産効率を改善する。

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「2024年ものづくりワールド(東京)」開催される

機械部品,DX,3Dプリンタ,省エネ製品をはじめ,開発・製造期間の短縮やDX・IT化の推進,業務を自動化・効率化する製品・サービスなどが出展する日本最大級のものづくり専門展示会「ものづくりワールド(東京)」(主催:RX Japan)が2024年6月21日(水)~23日(金)の3日間,東京ビッグサイト(東京都江東区)で開催された。

「2024年ものづくりワールド(東京)」開催される

機械部品,DX,3Dプリンタ,省エネ製品をはじめ,開発・製造期間の短縮やDX・IT化の推進,業務を自動化・効率化する製品・サービスなどが出展する日本最大級のものづくり専門展示会「ものづくりワールド(東京)」(主催:RX Japan)が2024年6月21日(水)~23日(金)の3日間,東京ビッグサイト(東京都江東区)で開催された。

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