スペクトリスPANalytical事業部は，化合物半導体エピタキシャル薄膜解析用XRDとX線反射率解析用XRRの2種類のソフトウェアを発表した。XRDの新バージョン4.2はパナリティカルのX’Pert PRO MRD，及び初期の高分解能X線回折装置と組み合わせて，半導体エピタキシャル層を更に精密，自動に解析することが可能になる。これにより，GaN系をはじめとする化合物半導体の開発，製造プロセスの最適化，自動化に大きく貢献する。XRRの新バージョン1.2は複数パラメータの最適化，フィッティングの自動化により，高度かつ簡便にパラメータを求めることが可能になった。これにより，半導体薄膜，磁性薄膜，表示デバイス系の材料開発，製造プロセスにて，膜圧，ラフネス，密度パラメータの標準化への活用が可能となる。（’07 8/29）
「2025洗浄総合展」開催される
2025年12月3日（水）～5日（金）の3日間，東京ビッグサイト（東京都江東区）で「2025洗浄総合展」（主催：日本洗浄技能開発協会，日本産業洗浄協議会，日刊工業新聞社）が開催され，3日間合計で44,301名（同時開催展含む）が来場した。 同展は，日本唯一の産業洗浄に関する専門展示会で，本年は「2025国際ロボット展」「VACUUM 2025 真空展」「先端材料技術展 2025」「スマートファクトリー Japan 2025」「高精度・難加工技術展 2025」「表面改質展 2025」との同時開催で行われた。...
