スペクトリスPANalytical事業部は,化合物半導体エピタキシャル薄膜解析用XRDとX線反射率解析用XRRの2種類のソフトウェアを発表した。XRDの新バージョン4.2はパナリティカルのX’Pert PRO MRD,及び初期の高分解能X線回折装置と組み合わせて,半導体エピタキシャル層を更に精密,自動に解析することが可能になる。これにより,GaN系をはじめとする化合物半導体の開発,製造プロセスの最適化,自動化に大きく貢献する。XRRの新バージョン1.2は複数パラメータの最適化,フィッティングの自動化により,高度かつ簡便にパラメータを求めることが可能になった。これにより,半導体薄膜,磁性薄膜,表示デバイス系の材料開発,製造プロセスにて,膜圧,ラフネス,密度パラメータの標準化への活用が可能となる。(’07 8/29)
「2025年度SRV®国内ラウンドロビン試験結果報告会」開催される―パーカー熱処理工業
パーカー熱処理工業は,2025年11月14日(金),東京理科大学 葛飾キャンパス(東京都葛飾区)で「2025年度SRV®ラウンドロビン試験結果報告会」と「SRV®ユーザーズミーティング」をリアルおよびオンラインのハイブリッド形式にて開催した。







