日本精工(以下,NSK)は,NSKの高精度な位置決め・搬送装置「メガトルクモータ」を駆動制御する装置として,「EtherCAT対応ドライバ」(ドライバEGC型とコンバータECC型)を市場投入する。同製品の導入により,メガトルクモータの高い耐環境性能はそのままに,複数モータの統合制御や高速同期運転ならびに,より細かい回転位置決めを実現する。これにより,半導体製造装置をはじめ幅広い用途で,装置の生産効率向上と高精度な位置決めに貢献する。
同製品は,メガトルクモータ11製品に対応する機種をラインアップすることで,半導体製造装置をはじめとして,電子部品検査装置や画像処理装置など,幅広い用途の装置に利用できる。また,既にメガトルクモータを採用している設備であっても,同製品を導入することでEtherCAT対応を実現できる。(’25 1/22)