日本精工，メガトルクモータ™用EtherCAT®対応ドライバを市場投入

日本精工（以下，NSK）は，NSKの高精度な位置決め・搬送装置「メガトルクモータ」を駆動制御する装置として，「EtherCAT対応ドライバ」（ドライバEGC型とコンバータECC型）を市場投入する。同製品の導入により，メガトルクモータの高い耐環境性能はそのままに，複数モータの統合制御や高速同期運転ならびに，より細かい回転位置決めを実現する。これにより，半導体製造装置をはじめ幅広い用途で，装置の生産効率向上と高精度な位置決めに貢献する。

同製品は，メガトルクモータ11製品に対応する機種をラインアップすることで，半導体製造装置をはじめとして，電子部品検査装置や画像処理装置など，幅広い用途の装置に利用できる。また，既にメガトルクモータを採用している設備であっても，同製品を導入することでEtherCAT対応を実現できる。（’25 1/22）