ジェイテクトのグループ会社であるジェイテクトサーモシステムは，産業タイムズ社主催の「第28回半導体・オブ・ザ・イヤー2022」において，製造装置部門で「SiCパワー半導体用ランプアニール装置」が評価され優秀賞を受賞した。
同賞は，最新のエレクトロニクス製品の開発において最も貢献した製品を称える賞。対象製品は2021年4月～2022年3月までに新製品（バージョンアップ等含む）として発表された製品・技術で，半導体デバイス，半導体製造装置，半導体用電子材料の3部門から選出される。
同装置は，パワー半導体製造用として開発されたランプアニール装置。従来機種では国内シェア70％を有し，主にオーミックコンタクトアニール処理などに用いられている。今回開発したRLA-4100シリーズはチャンバー及び搬送部に真空ロードロックを採用，金属膜の酸化を抑制し製品特性を向上しながら処理時間を従来機比で33％短縮した。（’22 7/13）
