NTNとエア・ウォーター社，複雑な形状でも高効率に洗浄できるシステムを開発

　NTNとエア・ウォーター社は，エア・ウォーターの液化炭酸ガスを使ったドライアイススノー精密洗浄システム「クイックスノー」の技術と，NTNの「パラレルリンク型高速角度制御装置」の技術を融合した新製品を開発した。
　クイックスノーは，液化炭酸ガスから生成したドライアイス微粒子を高速で洗浄対象物に衝突させ，ミクロの異物を洗浄するドライ洗浄装置。クイックスノーの洗浄効果を最大限に引き出すためには，噴射ノズルを適切な位置に動かしながら洗浄することが必要だが，従来の垂直型多関節ロボットとの組み合わせでは，ノズルを滑らかに動かす動作の実現に課題があった。
　新製品は，クイックスノーのノズルの向きを高速角度制御装置で制御しながら連続動作させることで，従来では除去が難しかった異物に対しても，極めて良好な除去ができ，1,000分の1ミリサイズの微細な異物に対しても効果的な洗浄が可能。また，クイックスノーのノズルを高速角度制御装置の機構内側に組み入れることで，高速動作を可能にするとともに，必要な配線類も機構内側に組み入れることができ，コンパクト化に寄与している。
　今後は，自動車部品や半導体・電子制御部品など，高効率な精密洗浄を必要とする生産工程へ導入を提案し，従来の洗浄装置では困難だった精密洗浄の実現を目指す。
　なお，同製品は2017年4月5日（水）～7日（金）に東京ビッグサイトで開催される「第27回ファインテックジャパン（http://www.ftj.jp/）」にて，エア・ウォーターブースに参考出展する。（’17 4/5）