リオンは,最小可測粒径0.05µmの超純水プラント向けの液中パーティクルカウンタ「KL-30B」を2016年6月1日(水)から発売した。
同製品は,粒子検出部,表示部,流体制御部を一体化させたオールインワンタイプ。超純水の製造ラインに直接接続し,清浄度を常時監視することができる。粒径区分は0.05µm~0.2µmの範囲で,最大10段階を設定可能。
電子デバイス製造工場の洗浄工程に超純水が使用されており,液中パーティクルカウンタは超純水中の微粒子の粒径や個数濃度の清浄度管理に利用されている。(’16 6/1)
日本設備管理学会,「最新設備診断技術の実用性に関する研究会」開催される
日本設備管理学会(主査:太田 博光 氏,水産大学校 海洋機械工学科/水産学研究科 教授)は「2025年度 第3回最新設備診断技術の実用性に関する研究会&設備保全・診断に関するセミナー」を,2026年3月6日(金)にタワーホール船堀(東京都江戸川区)で開催した。









