リオン，液中パーティクルカウンタ「KL-30B」を発売

　リオンは，最小可測粒径0.05µmの超純水プラント向けの液中パーティクルカウンタ「KL-30B」を2016年6月1日（水）から発売した。
　同製品は，粒子検出部，表示部，流体制御部を一体化させたオールインワンタイプ。超純水の製造ラインに直接接続し，清浄度を常時監視することができる。粒径区分は0.05µm～0.2µmの範囲で，最大10段階を設定可能。
　電子デバイス製造工場の洗浄工程に超純水が使用されており，液中パーティクルカウンタは超純水中の微粒子の粒径や個数濃度の清浄度管理に利用されている。（’16 6/1）