東京エレクトロンデバイスは，生産設備の稼働状態変化を検知する稼働監視AIの生成・監視を自動で行い，稼働監視運用を支援するクイックAI監視ソフトウェア「CX-W」を開発，販売を開始した。同製品は，製造装置から通常稼働中のデータを取りこみ，その数値分布や相関関係を学習し，装置の種類や特性，製造品などに合わせた装置ごとの監視用AIを現場で自動生成，リアルタイムに稼働を監視し変化をとらえる。学習データを個別に用意する必要がなく，監視用PCにインストールするだけで簡単に監視用AIの生成・監視ができる。監視中に製造装置の稼働状態に変化があった場合は，原因となったデータの種類と変化の度合いを示す警告指数を判定結果としてPC上に表示する。（’19 9/11）
