リオンは，半導体などの製造現場において，業界初高粘度試料を希釈せずに，原液のまま微粒子測定が可能な「高粘度試料用の液中微粒子測定システム」を2019年10月1日に発売した。
半導体製造現場では，微細化，高集積化，多層構造化が進んでおり，その際，高粘度KrF，厚膜レジスト，ワニス，ポリイミドなどの高粘度溶剤が使用されるが，従来の高粘度試料の測定システムでは，測定可能な試料の粘度に限界があり，希釈してから測定をしている。
この希釈作業は，作業効率の低下や試料への不純物の混入，試料の状態変化などの課題がある。今回発売する同システムは，試料を希釈することなく，原液のまま測定することができるため，半導体製造現場における作業効率の改善，歩留まりの向上に寄与する。（’19 10/23）
