DLC工業会，2024年度講演会開催される

DLC工業会（会長：中森 秀樹 氏（ナノテック 代表取締役社長））は，2024年9月12日（木），2024年度講演会を「半導体製造関連技術の最前線とDLC膜の応用 ～前工程から後工程まで～」と題しナノテック会議室（千葉県柏市）とオンラインのハイブリッドで開催した。

中森 会長の開会の挨拶に続き，リックス 生田 勝治 氏が「半導体製造の基盤技術と関連製品 ～洗浄技術と付帯機器～」，ウエキコーポレーション 伊東 祐介 氏が「半導体製造とガストータルソリューション」，トッケン 平塚 傑工 氏が「DLC膜の半導体製造技術への応用」，レスカ 竹内 光明 氏が「半導体後工程における物理力評価及び試験装置」について各々講演し，半導体製造における基盤技術から最先端の応用技術まで幅広い内容について活発な質疑応答や意見交換が行われた。（’24 9/25）