砥粒加工学会 次世代固定砥粒加工プロセス専門委員会は,2024年3月1日(金),日本大学 理工学部 駿河台キャンパス(対面:東京都千代田区)とCisco Webex Meeting(Web)のハイブリッド形式で,第113回研究会「硬脆材料の平坦化・平滑化技術~半導体素材・電子デバイス素材・光学素材の平面加工~」を開催する。
硬脆材料の平面加工に対しては,一般的な機械加工である研削加工,研磨加工に加え,メカノケミカル作用を援用した砥粒加工,さらに物理/化学的効果を主とした除去加工など様々な加工方法が提唱され,実用化が進んでいる。半導体結晶材料や電子デバイス素材,光学素子の平面加工には平坦度を求められるのと同時に加工ダメージの抑制も重要である。こうした素材に対して高効率でダメージフリーを狙った加工を実現するにはそれぞれの加工原理を十分に理解し,最適な加工方式を見極めることが重要である。今回はその原理と実用例も含めて4名の講師が講演を行う。
同研究会の概要や,申し込みなど問い合わせ先は以下のとおり。
- 日時:2024年3月1日(金) 13:00~17:00
- 会場:対面開催とWebのハイブリッド形式
<対面>日本大学理工学部 駿河台キャンパス 1号館6F CSTホール(東京都千代田区)
<Web>Cisco Webex Meeting - 参加費:
次世代固定砥粒加工プロセス専門委員会 会員 無料
非会員企業 15,400円
非会員アカデミア 6,600円 - 申込締切日:2024年2月15日(木)
- プログラム
講演1「硬脆材料の超平滑化加工のための実用的超仕上げ加工」 山口 智実 氏(関西大学)
講演2「結晶材料の高能率鏡面研磨用砥粒」 藤本 俊一 氏(アサヒ化成工業)
講演3「異種材料接合のための研磨」 赤羽 優子 氏(ティーディーシー)
講演4「ダイヤモンドウェーハの平坦化技術」 徳田 則夫 氏(金沢大学) - 問合せ・申込先:
https://jsat-sf.jp/event.html
砥粒加工学会 次世代固定砥粒加工プロセス専門委員会事務局 田附 宙美 氏
FAX 048-858-3709 E-mail:sf-office@mech.saitama-u.ac.jp (’24 1/31)