2021年9月8日

ジェイテクト,半導体製造に関する困りごとを解決する提案を進める

ブルカージャパン ナノ表面計測事業部
アーステック
安藤パラケミー

ジェイテクトは,過酷な環境下で使用する特殊環境用軸受シリーズEXSEV(エクゼブ)を開発・生産してきた。今回,半導体製造装置を使用する顧客の声をダイレクトに聞いて軸受に関する困りごとを把握し,製品の販売のみにとどまらず,半導体設備の安定操業と生産性向上を実現するために,半導体製造設備の補修市場へもサービスを広げる。また,軸受を単品での販売から周辺部品を含むユニットとして取り扱うことで,メンテナンスの簡略化と周期の延長にも貢献する。同社は,半導体分野において,2023年度には年間50億円の売り上げを目指す。

半導体の生産は,真空・クリーン・高温・腐食といった過酷な環境の下で行われる。同社はこれらの環境に適合した特殊環境用軸受を開発。従来品に対して発塵量を低減する真空・クリーン用ふっ素系グリース封入軸受およびグリースの「EXSEV®-EX」,従来品に対して,アウトガス量は同等,発塵量は半分以下,発塵寿命は10倍以上と,軸受性能の大幅な向上を実現した真空・クリーン用特殊ふっ素固体潤滑被膜軸受の「NEWクリーンプロ®-PR」,350℃の高温環境で使用可能なグリースを採用し,300℃での軸受寿命は,従来の高温用固体潤滑軸受と比べて6倍以上を実現した高温用ふっ素グリース封入軸受の「EXSEV®-XT」を主な製品ラインナップとして取り揃えた。

その他,一部の製造工程ではステンレス鋼でも対応できない,腐食性の強い環境では,軌道輪や玉にセラミック材料を適用した耐食用セラミック軸受を提供する。様々なセラミック軸受をラインナップすることで,多様な腐食環境に対応する。(’21 9/8)

アントンパール・ジャパン
メンテナンス・レジリエンスTOKYO 2021
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2021年11月24日~26日
https://www.jma.or.jp/mente/tokyo/index.html
2021洗浄総合展
2021洗浄総合展
リアル会場:2021年12月1日〜3日
オンライン会場:2021年11月24日〜12月10日

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