2019年10月23日

リオン,高粘度試料用の液中微粒子測定システムを発売

ブルカージャパン ナノ表面計測事業部
アーステック
安藤パラケミー
 リオンは,半導体などの製造現場において,業界初高粘度試料を希釈せずに,原液のまま微粒子測定が可能な「高粘度試料用の液中微粒子測定システム」を2019年10月1日に発売した。

 半導体製造現場では,微細化,高集積化,多層構造化が進んでおり,その際,高粘度KrF,厚膜レジスト,ワニス,ポリイミドなどの高粘度溶剤が使用されるが,従来の高粘度試料の測定システムでは,測定可能な試料の粘度に限界があり,希釈してから測定をしている。

 この希釈作業は,作業効率の低下や試料への不純物の混入,試料の状態変化などの課題がある。今回発売する同システムは,試料を希釈することなく,原液のまま測定することができるため,半導体製造現場における作業効率の改善,歩留まりの向上に寄与する。(’19 10/23)

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