2019年9月11日

東京エレクトロンデバイス,生産設備の稼働状態をAIで監視するソフトウェアの販売を開始

ブルカージャパン ナノ表面計測事業部
アーステック
安藤パラケミー

 東京エレクトロンデバイスは,生産設備の稼働状態変化を検知する稼働監視AIの生成・監視を自動で行い,稼働監視運用を支援するクイックAI監視ソフトウェア「CX-W」を開発,販売を開始した。同製品は,製造装置から通常稼働中のデータを取りこみ,その数値分布や相関関係を学習し,装置の種類や特性,製造品などに合わせた装置ごとの監視用AIを現場で自動生成,リアルタイムに稼働を監視し変化をとらえる。学習データを個別に用意する必要がなく,監視用PCにインストールするだけで簡単に監視用AIの生成・監視ができる。監視中に製造装置の稼働状態に変化があった場合は,原因となったデータの種類と変化の度合いを示す警告指数を判定結果としてPC上に表示する。(’19 9/11)

アントンパール・ジャパン
メンテナンス・レジリエンスTOKYO 2021
メンテナンス・レジリエンスTOKYO 2021
2021年11月24日~26日
https://www.jma.or.jp/mente/tokyo/index.html
2021洗浄総合展
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リアル会場:2021年12月1日〜3日
オンライン会場:2021年11月24日〜12月10日

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