2007年8月29日

スペクトリスPANalytical事業部,2種類のソフトウェアを発表

アーステック

 スペクトリスPANalytical事業部は,化合物半導体エピタキシャル薄膜解析用XRDとX線反射率解析用XRRの2種類のソフトウェアを発表した。XRDの新バージョン4.2はパナリティカルのX’Pert PRO MRD,及び初期の高分解能X線回折装置と組み合わせて,半導体エピタキシャル層を更に精密,自動に解析することが可能になる。これにより,GaN系をはじめとする化合物半導体の開発,製造プロセスの最適化,自動化に大きく貢献する。XRRの新バージョン1.2は複数パラメータの最適化,フィッティングの自動化により,高度かつ簡便にパラメータを求めることが可能になった。これにより,半導体薄膜,磁性薄膜,表示デバイス系の材料開発,製造プロセスにて,膜圧,ラフネス,密度パラメータの標準化への活用が可能となる。(’07 8/29)

Related Posts

2024年11月の機械受注統計

2024年11月の機械受注統計

内閣府が発表した2024年11月の機械受注統計によると,民間設備投資の先行指標である「船舶・電力を除く民需」の受注額(季節調整値)は,前月比3.4%増の8,996億円だった。

「Grinding Technology Japan 2025」,「SiC,GaN加工技術展2025」,3/5より開催

「Grinding Technology Japan 2025」,「SiC,GaN加工技術展2025」,3/5より開催

2025年3月5日(水)~7日(金)の3日間,幕張メッセ(千葉市美浜区)において,研削加工の専門技術展「Grinding Technology Japan(グライディングテクノロジージャパン,GTJ) 2025」と,先進パワー半導体ウエハ加工技術に関する専門展示会「SiC,GaN加工技術展2025」が開催される。

Share This