2018年8月8日

不二越,DLC成膜用ハイブリッドイオンプレーティング装置「SPS-2020」を市場投入

 不二越は,高品質かつ高速なダイヤモンドライクカーボン(DLC)成膜を実現するハイブリッドイオンプレーティング装置「SPS-2020」を開発,市場投入する。
 同製品は,真空中でイオンビームにより成膜物質をたたき出すスパッタリング法と,プラズマ中に成膜物質を含むガスを注入して成膜するP-CVD法を融合したハイブリッド成膜技術により,硬さや膜厚などの成膜品質が向上。また,大電流のHCD式プラズマガンを2基搭載し,高密度なイオンビームを照射して,イオン化率を上昇させることで,DLC成膜速度を従来機対比で約1.5倍まで向上させ,生産効率を改善する。さらに,独自のプラズマ制御技術と最適な機械構造により,装填されるワーク間での膜厚などのバラつきを抑え,安定した成膜品質を確保することができる。
 炭素を主成分とする非晶質のカーボン硬質膜であるDLC膜のコーティング加工は,耐摩耗性・非凝着性・低摩擦性から,アルミ切削用ドリルなどの工具や,プラスチックやガラスレンズ,アルミ部品向けの金型,クラッチプレートやピストンリングなどの自動車部品にも広く用いられ,年率10%を超えるスピードで市場規模が拡大し,DLC成膜装置の高品質化・高速化のニーズも高まっている。(’18 8/8)

Related Posts

工作機械の「MX」が切り開く製造業の未来―DMG森精機伊賀事業所に見るデジタル・自動化・環境対策の最前線

工作機械の「MX」が切り開く製造業の未来―DMG森精機伊賀事業所に見るデジタル・自動化・環境対策の最前線

DMG森精機は2026年7月3日(金),三重県伊賀市の伊賀事業所で記者向けに,同社が提唱する「MX(マシニング・トランスフォーメーション)」を軸とした,工程集約と自動化,そしてDX(デジタル・トランスフォーメーション)を融合させた最新の生産体制を公開した。

Share This