2022年度トライボコーティング技術研究会「特別研究会」が開催される

トライボコーティング技術研究会（会長：大森 整 氏，理化学研究所）は，2022年9月2日（金），板橋区立第2工場ビル（東京都板橋区）およびオンラインによるハイブリッドにて，特別研究会を第13回トライボコーティング・ドライコーティング合同技術研究会として開催した。

トライボコーティング研究会とドライコーティング研究会（近畿高エネルギー加工技術研究所）との合同研究会は13回目の開催となる。

今回のテーマは「最近の微細加工，トライボファブリケーション，特殊技術トピックス」として，大森 会長から「最新活動状況，業界最新動向について」の紹介と開会挨拶のあと，東京大学生産技術研究所の臼杵 年 氏が，「難削材の切削加工における表面界面での現象とトライボロジー」，大阪大学大学院工学研究科の山村 和也 氏が，「ワイドギャップ半導体基板のスラリーレスダメージフリー研磨プロセス～プラズマ援用研磨と電気化学機械研磨～」を講演した。（’22 9/14）