不二越，DLC成膜用ハイブリッドイオンプレーティング装置「SPS-2020」を市場投入

　不二越は，高品質かつ高速なダイヤモンドライクカーボン（DLC）成膜を実現するハイブリッドイオンプレーティング装置「SPS-2020」を開発，市場投入する。
　同製品は，真空中でイオンビームにより成膜物質をたたき出すスパッタリング法と，プラズマ中に成膜物質を含むガスを注入して成膜するP-CVD法を融合したハイブリッド成膜技術により，硬さや膜厚などの成膜品質が向上。また，大電流のHCD式プラズマガンを2基搭載し，高密度なイオンビームを照射して，イオン化率を上昇させることで，DLC成膜速度を従来機対比で約1.5倍まで向上させ，生産効率を改善する。さらに，独自のプラズマ制御技術と最適な機械構造により，装填されるワーク間での膜厚などのバラつきを抑え，安定した成膜品質を確保することができる。
　炭素を主成分とする非晶質のカーボン硬質膜であるDLC膜のコーティング加工は，耐摩耗性・非凝着性・低摩擦性から，アルミ切削用ドリルなどの工具や，プラスチックやガラスレンズ，アルミ部品向けの金型，クラッチプレートやピストンリングなどの自動車部品にも広く用いられ，年率10％を超えるスピードで市場規模が拡大し，DLC成膜装置の高品質化・高速化のニーズも高まっている。（’18 8/8）