不二越は,高品質かつ高速なダイヤモンドライクカーボン(DLC)成膜を実現するハイブリッドイオンプレーティング装置「SPS-2020」を開発,市場投入する。
同製品は,真空中でイオンビームにより成膜物質をたたき出すスパッタリング法と,プラズマ中に成膜物質を含むガスを注入して成膜するP-CVD法を融合したハイブリッド成膜技術により,硬さや膜厚などの成膜品質が向上。また,大電流のHCD式プラズマガンを2基搭載し,高密度なイオンビームを照射して,イオン化率を上昇させることで,DLC成膜速度を従来機対比で約1.5倍まで向上させ,生産効率を改善する。さらに,独自のプラズマ制御技術と最適な機械構造により,装填されるワーク間での膜厚などのバラつきを抑え,安定した成膜品質を確保することができる。
炭素を主成分とする非晶質のカーボン硬質膜であるDLC膜のコーティング加工は,耐摩耗性・非凝着性・低摩擦性から,アルミ切削用ドリルなどの工具や,プラスチックやガラスレンズ,アルミ部品向けの金型,クラッチプレートやピストンリングなどの自動車部品にも広く用いられ,年率10%を超えるスピードで市場規模が拡大し,DLC成膜装置の高品質化・高速化のニーズも高まっている。(’18 8/8)
「Grinding Technology Japan 2025」,「SiC,GaN加工技術展2025」,3/5より開催
2025年3月5日(水)~7日(金)の3日間,幕張メッセ(千葉市美浜区)において,研削加工の専門技術展「Grinding Technology Japan(グライディングテクノロジージャパン,GTJ) 2025」と,先進パワー半導体ウエハ加工技術に関する専門展示会「SiC,GaN加工技術展2025」が開催される。